WF6 wird hauptsächlich als Rohstoff für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) von Wolframmetall in der Elektronikindustrie verwendet. WSi2 aus WF6 kann als Verdrahtungsmaterial in hochintegrierten Schaltkreisen (LSI) und auch als Rohstoff für Halbleiterelektroden, Fluorrohstoffe für chemische Wirkstoffe, Polymerisationskatalysatoren, optische Materialien usw. verwendet werden.